主要用途
JCL-SZP全數(shù)字化中頻磁控濺射電源適用于中頻孿生靶磁控濺射金屬和非金屬材料。本電源能增加離化率，減小電荷積累，預(yù)防靶表面中毒現(xiàn)象。特別適用于反應(yīng)磁控濺射鍍制ITO膜、介質(zhì)膜、絕緣保護(hù)膜。
主要特點(diǎn)
1、 采用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)，高效節(jié)能、反應(yīng)迅速，雙級脈沖方波輸出，占空比20%—80%連續(xù)可調(diào)，脈沖頻率 20—40KHZ連續(xù)可調(diào)，具有恒壓、恒流、恒功率工作模式，適應(yīng)各類特殊工藝要求，可實(shí)現(xiàn)雙靶濺射，具有優(yōu)異的滅弧性能。
2、 全數(shù)字化控制、精度高、重復(fù)性好；配有控制面板和控制程序，根據(jù)工藝要求設(shè)定工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)近地控制和遠(yuǎn)程控制（配有通訊接口）。
3、 空載電壓：1200V-1300V，工作電壓：200V-800V
4、 電源功率：20KW、 30KW 、40KW 、60KW、 80KW 、 100KW
電話： 028-83988111 13658068539 
傳真：13658068539 
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